krf光刻胶和arf光刻胶区别

2024-07-07 23:50发布

ArF光刻胶是市场需求的主流,占比约42%。而KrF则多用于8寸晶圆片,占比约22%。半导体光刻胶根据曝光光源波长不同来分类,分别是紫外全谱(300~450nm

ArF光刻胶是市场需求的主流,占比约42%。而KrF则多用于8寸晶圆片,占比约22%。半导体光刻胶根据曝光光源波长不同来分类,分别是紫外全谱(300~450nm